一、用途
二、技術(shù)規(guī)格
項(xiàng) 目 內(nèi) 容 放大倍率 15X～30,000X(數(shù)字放大：2X、4X) 觀察模式 標(biāo)準(zhǔn)模式、減輕荷電模式、大束流分析模式 圖像模式 形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像 電子光學(xué)系統(tǒng) 電子槍 預(yù)對(duì)中發(fā)夾型鎢燈絲 加速電壓 5kV、15kV 、EDX 透鏡系統(tǒng) 3級(jí)電磁式透鏡會(huì)聚系統(tǒng) 電位移 ±50μm (WD=4.5mm、觀察條件：標(biāo)準(zhǔn)模式) 能譜分析位置 WD=10mm, TOA=35° 樣品臺(tái) 樣品臺(tái)控制 2軸手動(dòng)樣品臺(tái) 樣品可移動(dòng)范圍 X：±17.5mm、Y：±17.5mm *大樣品尺寸 直徑70mm *大樣品厚度 50mm 檢測(cè)器 高靈敏4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 真空系統(tǒng) 自動(dòng)控制系統(tǒng) 全自動(dòng)氣動(dòng)閥控制系統(tǒng) *高真空度 1.5×10-5Pa 可變真空度 6~270Pa(22steps) 渦輪分子泵 30L/s 1臺(tái) 隔膜泵 1m3/h 1臺(tái) 真空計(jì) 1臺(tái) 自動(dòng)功能 自動(dòng)燈絲飽和 已配備 自動(dòng)電子束設(shè)定 已配備 自動(dòng)電子槍對(duì)中 已配備 自動(dòng)合軸 已配備 自動(dòng)聚焦、消像散 已配備 自動(dòng)亮度、對(duì)比度 已配備 自動(dòng)保護(hù)功能 帶有過電流保護(hù)功能、漏電遮斷器 計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng) 操作系統(tǒng) Microsoft Windows® 7 CPU Intel® CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC) 內(nèi)存容量 2GB以上 接口與端子 USB2.0接口(2個(gè))、網(wǎng)路接口(以太網(wǎng)) 觀察 15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素 控制 鼠標(biāo)、鍵盤 掃描速度 TV掃描 640×480象素顯示，25幀/秒 快速掃描 全屏顯示，6.3幀/秒 慢速掃描 全屏顯示，1/4/20/40/80秒/幀 640×480像素顯示，0.5/2/10/20/40秒/幀
圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 圖像存儲(chǔ)像素 640 × 480、1,280 × 960像素 圖像數(shù)據(jù)保存 PC帶硬盤及其他記錄媒體 圖像存儲(chǔ)格式 BMP、TIFF、JPEG 圖像信息 微標(biāo)尺、微值、放大倍率、日期、時(shí)間、圖像編號(hào)、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離 輔助功能 圖像旋轉(zhuǎn)、簡(jiǎn)單測(cè)量、三維動(dòng)畫維護(hù)指南 使用環(huán)境 室溫 15°C ～30°C 相對(duì)濕度 40%～70% 電源 單相AC100～240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座 地線 D類接地，電阻小于100Ω 體積與重量 主機(jī) 330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)
330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)隔膜泵 145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg
